بررسی تاثیر فشار اولیه بر روند رشد و گاف اپتیکی لایه های شبه الماس با ناخاصی نیکل ساخته شده به روش RF-PECVD

لایه های نازک کربن شبه الماس بی ریخت با ناخالصی نیکل (Ni-DLC) به روش انباشت از فاز بخار شیمیایی با استفاده از پلاسماب ناشی از امواج رادیویی(RF) و وارد کردن گاز استیلن در فشارهای مختلف بر روی زیر لایه ی شیشه ساخته شد. برای محاسبه گاف اپتیکی لایه ها از طیف سنجی در ناحیه ی فرابنفش- مرئی استفاده شد. با کمک فیلتر سازی تصویر میکروسکوپ الکترونی روبشی مقدار و چگونگی توزیع نیکل در نمونه بررسی و همچنین ساختار سطح نیکل لایه ها با استفاده از میکروسکوپ نیروی اتمی مطالعه گردید. مشاهده شد که با کاهش فشار اولیه انباشت مقدار نیکل در لایه های نیکل- کربن با پوشش DLC افزایش یافته و با کاهش گاف اپتیکی آنها ساختار از فاز عایق به رسانا پیش می رود.