بررسی ساختارکریستالی ومورفولوژی سطح نانوفیلم TiO2 رشددادهشده به روش کندوپاش مغناطیسی جریان مستقیم استوانه ای
محل انتشار: سومین همایش سراسری کاربردهای دفاعی علوم نانو
سال انتشار: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 890
فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
BSNANO03_073
تاریخ نمایه سازی: 9 بهمن 1392
چکیده مقاله:
با استفاده ازدستگاه کندوپاش جریان مستقیم استوانه ای نانوفیلم دی اکسید تیتانیم برروی سیلیکون 100 دردمای محیط لایه نشانی شد فیلم دردماهای مختلف بازپخت شد خصوصیات ساختاری فیلم مورفولوژی سطح نمونه به وسیله دستگاه های پراش پرتوایکس و میکروسکوپ نیروی اتمی بررسی شد تاثیر دمای بازپخت برروی ساختارکریستالی و مورفولوژی سطح فیلم بررسی شد نتایج xrd نشان داد که نانوفیلم دی اکسید تیتانیم دردمای محیط ساختاری امورف دارد نمونه بازپخت شده ساختارکریستالی بافازهای اناتاز و روتایل داشت بررسی نتایج مورفولوژی سطح نشان داد که با افزایش دمای بازپخت سطح نمونه از حالت دانه ای به کپه ای تغییر می یابد همچنین زبری سطح و حداکثرارتفاع برجستگی سطح با افزایش دمای بازپخت افزایش یافت
کلیدواژه ها:
نویسندگان
سیدعلی حسینی
دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات تهران
محمدرضا حنطه زاده
دانشگاه جامع امام حسین (ع)
پویا صلواتی دزفولی
دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات تهران
عبداله ملک زاده
دانشگاه جامع امام حسین (ع)
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :