اثر بمباران یونی زیرلایه استیل 304 برروی رشد نانو لوله های کربنی باروش انباشت شیمیایی حرارتی

در این مقاله فرایند رشد نانو لوله های کربنی با استفاده از گاز استیلن و به روش انباشت شیمیایی حرارتی (TCVD) مورد بررسی قرار گرفته است . زیر لایه های استفاده شده از جنس استیل 304 هستندکه به وسیله یون های آرگون تولید شده با استفاده از چشمه یونی کافمن با شدت هـای یکـسان و انـرژی هـای متفـاوت بمبـاران شـده است . بعد ازانجام این فرایندبر روی زیر لایه ها در محیطی از گازهای هیدروژن و آمونیاک و استیلن نانو لوله های کربن ی رشد داده شد . نمونه های رشد داده شده بوسیله و اسپکتروسکوپی رامان بررسی شدو نیزبرای مطالعه برروی ساختار زیر لایه های آماده سـازی شـده از میکروسـک وپ نیـروی (SEM) میکروسکوپ الکترونی روبشی اتمی (AFM) استفاده شد . در نهایت نتایج آنالیز (AFM) نشان داد که بمباران با انرژیهای بالاتر دانه های ریزتری را در سطح زیر لایه ایجاد نموده ودر نتیجه امکـان رشد چگالتر نانو لوله ها فراهم شده است .