بهینه سازی عملکرد یک آشکار ساز مادون قرمز حرارتی میکروبالومتر مبتنی بر MEMS
سال انتشار: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 559
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
CMSII02_118
تاریخ نمایه سازی: 7 بهمن 1393
چکیده مقاله:
این مقاله یک ساختار میکروبالومتر جدید با لایه سیلیکون با ناخالصی نوع n به عنوان عنصر فعال که در فرایند coms استاندارد بدست می آید را ارائه می دهد. نتایج مشخصه ها از تراشه های اسخته شده نشان می دهد که لایه n دارای ضریب دمای مقاومتی حدود 0/5% می باشد. با توجه به اینکه عملکرد میکروبالومتر وابسته به ابعاد ساخترا است در این مقاله با تغییر ابعاد شبیه سازی حرارتی به طور دقیق در نرم افزار ANSYS برای بدست آوردن ساختار بهینه سازی شده انجام شده است و نتایج این شبیه سازی و محاسبات باعث بدست آوردن ماکزیمم آشکارپذیری ویژه و پاسخدهی 3933/6v/w شده است این روش مقرون به صرفه و با عملکرد مناسب برای تولید آرایه های صفحه کانونی بزرگ برای تصویربرداری مادون قرمز دمای اتاق است.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
نسیمه مرادی
دانشجوی کارشناسی ارشد دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات اراک
احمد عقیقی
استادیار دانشگاه مالک اشتر
سید محمدمهدی نجفی زاده
دانشیار دانشگاه آزاد اسلامی واحد اراک
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :