مدل سازی و طراحی شتاب سنج خازنی MEMS به منظور کاهش خطا

دراین مقاله یک شتاب سنج خازنی MEMS حلقه بسته باشتاب ورودی قابل قبول +10g مدل سازی و شبیه سازی شده است. از میان انواع مبدل ها و روش های حسگری موجود، از روش خازنی به دلیل سازگاری آن با تکنولوژی Mems و مدارات مجتمع جهت پردازش سیگنال استفاده شده است. در طراحی از یک تقویت کننده مد بار سوئیچ خازنی برای رسیدن به بهره بالا و یک مدولاتور سیگما دلتا جهت کاهش نویز استفاده شده است. هدف این طراحی، کم کردن نویز کلی معادل شتاب از طریق کم کردن نویز براوتین معادل شتاب و بدست آوردن مقداری بهینه برای مقادیر خازنی است. میزان فرکانس 1.6KHz حاصل گردیده است. با استفاده از نتایج این شتاب سنج مقادیر حساسیت نویز براوتین معادل شتاب، نویز مداری معادل شتاب، و نویز معادل کلی شتاب به ترتیب 0.356 pfg -1 ، 0.65μgHz -1/2 ، 0.56μgHz -1/2 ، 0.86μgHz -1/2 بدست آمده که مقادیر خوب و بهینه ای هستند.

کلیدواژه ها:

نویز براونی ، مبدل سیگما دلتا ، توان معادل نویز ، حساسیت خازنی ، فرکانس تشدید