مدل سازی رفتار ارتعاشی میکروکانتیلور پایه سیلیکون

بخش قابل توجهی از حسگرهای مورد استفاده درمیکرو و نانو فناوری حسگر های مبتنی بر میکروکانتیلورها می باشند که در حوزه های متنوعی از جمله پزشکی، پالایشگاه ها، شناسایی مواد شیمیایی مانند ترکیبات فرار، مواد منفجره، گونه های یونی، سموم، آلاینده های غذا و محیط، آفت کش ها و مواد زیستی مانند آشکار سازی پروتئین و گلوکزو... کاربرد دارند. روش های حسگری در این حسگرها برپایه روش انحراف(استاتیک) یا تغییر فرکانس رزونانس(دینامیک) آنها می باشد. تعداد زیادی از حسگرهای مبتنی بر میکروکانتیلور از جنس سیلیکون می باشند. بنابراین هدف از انجام این پژوهش،مطالعه و بررسی رفتار ارتعاشی میکروکانتیلورهای سیلیکونی می باشد. به دلیل افزایش حساسیت حسگرهای مبتنی بر میکروکانتیلور در مدهای فرکانسی بالا امکان تحریک میکروکانتیلور سیلیکونی در مدهای مختلف فرکانسی، مطالعه رفتار آنها در مد های رزونانسی بالا دارای اهمیت زیادی است. در این مقاله رفتار میکرو کانتیلور در ده مد اول فرکانسی مورد بررسی و ارزیابی قرار گرفته است.

کلیدواژه ها:

میکرو کانتیلور ، رفتار ارتعاشی ، مدلسازی ، المان محدود