A study of piezoelectric properties of ZnO, AlN and PZT for sensing and actuating in MEMS devices

سال انتشار: 1394
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: انگلیسی
مشاهده: 635

فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

ELEMECHCONF03_0216

تاریخ نمایه سازی: 9 مرداد 1395

چکیده مقاله:

This paper reports three different piezoelectric materials, ZnO, AlN and PZT, which are used widely in MEMS as sensors and actuators. The electrical and mechanical properties of each are also reported. The prestige equation used for estimating peak output voltage with piezoelectric materials demonstrated the generated voltage by ZnO is 41.21 % larger than AlN voltage. PZT is able to generate quit high peak output voltage (97.21%) in comparing with ZnO and AlN due to the large electromechanical coupling. Also, the stable temperature response of PZT is also presented. Based on this analysis during this study one could conclude that PZT is the superior material and is the best option for actuating and sensing aims with high energy conversion efficiency.

نویسندگان

Seyedfakhreddin Nabavi

Ph.D. Candidate, Memorial University, Newfoundland, Canada

Zahra Rahbari

Bachelor student, Sahand University of Technology, Tabriz, Iran

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • C. G. Hindrichsen, _ Lou-Mller, K. Hansen, and E. V. ...
  • H. Bardaweel, O. Al Hattamleh, R. Richards, D. Bahr, and ...
  • L. E. McNeil, M. Grimsditch, and R. H. French, ،Vibrational ...
  • E. Iborra, J. Olivares, M. Clement, L. Vergara, A. Sanz-Hervas, ...
  • P. Muralt, M. Kohli, T. Maeder, A. Kholkin, K. Brooks, ...
  • F. _P Sun, Z. Chaudhry, C. Liang, and C. A. ...
  • S. Li and S. Chen, "Analytical analysis of a circular ...
  • A. Nechibvute, A. R. Akande, and P. V. C. Luhanga, ...
  • S. Roundy, P. K. Wright, and J. Rabaey, _ study ...
  • H. A. Sodano, G. Park, D. J. Leo, and D. ...
  • M. Nordstrom, D. A. Zauner, M. Calleja, J. Hibner, and ...
  • H. Liu, C. J. Tay, C. Quan, T. Kobayashi, and ...
  • R. A. Wolf and S. Trolier -McKinstry, "Temperature dependence of ...
  • نمایش کامل مراجع