بررسی پدیده ی میرایی لایه ی فشرده ی سیال در سیستم های میکروالکترومکانیکی

در مقاله ی حاضر، ارزیابی جامعی نسبت به پدیده ی میرایی لایه ی فشرده ی سیال در سیستم های میکروالکترومکانیکی ارائه می شود. بدین منظور ابتدا، مقدمه ای از ظهور سیستم های میکرو الکترومکانیکی به همراه کاربردها و بازار تجاری آن ها در بخش اول مطرح می گردد. سپس در بخش دوم، مبحث میرایی که شامل سیستم ارتعاشی با وجود صفحه ی محرک و زیرلایه ی ثابت و همچنین اثرات سیال می باشد، مورد بررسی قرار می گیرد. در این ارتباط، پارامتری که مشخص کننده ی درجه ی ترقیق سیال می باشد، عدد نادسن نام دارد که بیان ریاضی آن به تفصیل ارائه می شود. در ادامه در بخش سوم، پدیده ی میرایی لایه ی فشرده سیال به همراه نگاره ی هندسی و روابط حاکم بر آن معرفی گردیده و در نهایت بخش های چهارم و پنجم این مقاله، اختصاص به مروری بر مدل های تحلیلی ارائه شده و جمع بندی مطالب خواهند داشت. لازم به ذکر است که اهمیت تحلیل پدیده ی لایه ی فشرده ی سیال در سیستم های میکروالکترومکانیکی، با توجه به وجود شکاف هوایی میان میکروساختار مرتعش و زیرلایه ی ثابت، امری تاثیرگذار در مبحث طراحی، بهینه سازی و کنترل این سیستم ها می باشد

کلیدواژه ها:

سیستم های میکروالکترومکانیکی ، میرایی ، لایه ی فشرده ی سیال ، معادله ی رینولدز ، زیرلایه ی ثابت