مدل سازی و شبیه سازی رفتاری شتاب سنج خازنی MEMS با استفاده از نرم افزار MATLAB/SIMULINK

سال انتشار: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 2,057

فایل این مقاله در 8 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

EOESD01_015

تاریخ نمایه سازی: 11 خرداد 1393

چکیده مقاله:

در این مقاله، یک شتاب سنج خازنی میکروالکترومکانیکی به صورت حلقه باز با شتاب ورودی قابل قبول ±4g مدل سازی و شبیه سازی شده است. از میان انواع مبدل ها و روش های حسگری موجود، از روش خازنی به دلیل سازگاری آن با تکنولوژی MEMS و مدارات مجتمع جهت پردازش سیگنال استفاده شد. مدلسازی این شتاب سنج در دو بخش مدل سازی وشبیه سازی قسمت مکانیکی و استخراج تغییرات ظرفیت خازنی و مدارات الکترونیکی انجام شده است. در طراحی مدارات الکترونیکی از یک تقویت کننده مد بار سوئیچ-خازنی برای رسیدن به بهره ی بالا و یک دمدولاتور حساس به فاز جهت تشخیص علامت شتاب وارده استفاده شد. اعتبار نتایج هر دو بخش مکانیکی و الکترونیکی شتاب سنج مدل شده به کمک نرم افزار MATLAB/SIMULINK در هر قسمت سنجیده شده و در نهایت مشخص گرید که مدل به دست آمده از دقت قابل قبولی در شتاب های تا ±4g و حساسیت 0.708 pF/g برخوردار می باشد.

کلیدواژه ها:

شتاب سنج ، تکنولوژی MEMS ، تقویت کننده مد بار ، دمدولاتور حساس به فاز

نویسندگان

عبدالمجید دیناروند

دانشجوی کارشناسی ارشد مهندسی برق - مخابرات دانشگاه بین المللی امام خمینی (ره)

نوید دیناروند

دانشجوی کارشناسی ارشد مهندسی برق - الکترونیک دانشگاه صنعتی مالک اشتر تهران

محمد خالقی

دانشجیو کارشناسی ارشد مهندسی برق - الکترونیک دانشگاه صنعتی مالک اشتر تهران

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • حمد محجوب جهرمی، علی ابوالقاسمی آزاد، " طراحی یک شتاب ...
  • N. Maluf, K. Williams, An Introduction to Micro E _ ...
  • S. E. Lyshveski, MEMS and NEMS: Systems, Devices and Structures, ...
  • A.Lawrence, Modern Inertial Technology: Navigation, Guidance and Control .Springer Verlag, ...
  • Volker Kempe, Inertial MEMS :Principles and Practice, Cambridge University Press, ...
  • B. E. Boser, R. T. Howe, Surface M icromachined Acc ...
  • K. Sharma, Isaac G, L. Zhang, X. Xiong, Design Optimization ...
  • J. G. Korvink, O. Paul, MEMS: A Practical Guide to ...
  • _ SakthiSwarrup, Accelerometer Theory and Design, Chapter 2, Indian Institue ...
  • J. Farrell, M. Barth, The Global Positioning System and Inertial ...
  • M. Kraft, Closed-loop accelerometer employing oversampling conversion. PhD Thesis, Coventry ...
  • M. Kraft, C. P. Lewis, T. G. Hesketh , J. ...
  • M. Yucetas, Capacitive Accelerometer Interfaces Using High-Q M icromachined Sensor ...
  • نمایش کامل مراجع