بررسی ولتاژ پولین در ساختار خازنی با ضخامت پایین

سال انتشار: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 820

فایل این مقاله در 8 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

EOESD01_217

تاریخ نمایه سازی: 11 خرداد 1393

چکیده مقاله:

ولتاژ پولین یکی از پارامترهای اساسی است که در ساختارهای خازنی با تکنولوژی میکروالکترومکانیکی مورد بررسی قرار میگیرد. با اعمال ولتاژبه دو صفحه ی موازی خازن، یک نیروی الکترواستاتیکی ایجاد شده که باعث جابجایی صفحه ی متحرک فوقانی به سمت صفحه ی ثابت پایینیمیگردد. در صورتی که ولتاژ اعمالی را آنقدر افزایش دهیم که دو صفحه در اثر کشش نیروی الکترواستاتیکی به یکدیگر متصل شوند، پدیدهفروپاشی رخ میدهد و این ولتاژ را ولتاژ بحرانی یا پولین می نامند؛ لذا دانستن مقدار دقیق ولتاژ پولین بسیار حائز اهمیت است. در این مقاله، روشجدیدی ارائه شده است که این ولتاژ را مورد بررسی قرار میدهد. برای یک ساختار خازنی که ضخامت پایین دارد، مدل سازی صورت گرفته شدهاست. همچنین نموداری از میزان جابجایی و ولتاژ پولین ارائه خواهد شد که مقدار دقیق ولتاژ پولین را نشان میدهد. به علاوه نتایج تئوری با نتایجشبیه سازی، بسیار در توافق نزدیک میباشند.

نویسندگان

سارا قلی نژادشفق

کارشناسی ارشدالکترونیک دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل

بهرام عزیز الله گنجی

استادیاردانشکده برق وکامپیوتر دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • _ Peter, Osterberg, D. Stephen, Senturia, "M-TEST: A test chip ...
  • S. Chowdhury, M. Ahmadi, W.C. Miller, _ closed-form model for ...
  • Singresu S. Rao _ ed. 2007, Vibration of continuous systems, ...
  • Singresu S. Rao _ ed. 2007, Vibration of continuous systems, ...
  • Singresu S. Rao _ ed. 2007, Vibration of continuous systems, ...
  • نمایش کامل مراجع