DESIGN OF A SAW-BASED SENSOR COMBINED WITH A MICRO-HOTPLATE FORBIOLOGICAL APPLICATIONS
محل انتشار: هفدهمین کنفرانس مهندسی پزشکی ایران
سال انتشار: 1389
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: انگلیسی
مشاهده: 930
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICBME17_115
تاریخ نمایه سازی: 9 تیر 1392
چکیده مقاله:
A SAW-based sensor for chemical and biological application is designed in this paper. An Aluminum nitride piezoelectric layer is used over a bulk micromachined silicon substrate, so the design is compatible with CMOS Process. An additional micro-hotplate is integrated on system for thermal adjustment of sensing layer on required temperature and thermal stabilization of whole sensor. The SAW device with a working frequency of 610 MHz is built over a 21μm membrane. The frequency response and sensing property of the sensor are achieved via finite element analysis. The temperature distribution of the micro-hotplate is demonstrated.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
Babak Vosoughi Lahijani
Faculty of Electrical Engineering Sahand University of TechnologySahand New Town, Tabriz, Iran
Habib Badri Ghavifekr
Faculty of Electrical Engineering Sahand University of Technology Sahand New Town, Tabriz, Iran