ساخت لایه اکسید آلومینیم Al2O3 توسط سیستم کندوپاش مغناطیسی دو تارگته

سال انتشار: 1390
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 996

فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

ICC08_170

تاریخ نمایه سازی: 14 مهر 1392

چکیده مقاله:

لایه های اکسید آلومینیم در محیط Ar+O2 توسط س یستم کندوپاش مغناط یسی انباشت شده است . دست یابی به لا یه هایی با استوک یومتریAl2O3 به سبب تشک یل یک لا یه اکس یدی رو ی سطح تارگت مشکل می باشد آزمایشات نشان داده است که نسبتO2/Ar+O2 تاثیر زیادی در تشکیل لا یه هایی با استوکیومتری Al2O3 دارد. ایجاد لایه اکسید آلومینیم در شرایط مختلف از جمله تغییر فواصل زیر لایه از تارگت، تغییر دمای زیرلایه و تغییر نسبت گازها ی اکسیژن و آرگون بررسی شد نتایج حاصل ازSEM ،XRD و اندازه گیری مقاومت نمونه های ساخته شده ایجاد تشکیل لایه اکسید آلومینیوم مورد نظر می باشد

نویسندگان

ضرغام اسدالهی

پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران

پروین بلاش آبادی

پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران

محمدرضا قاسمی

پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران

هوشیار سیدی

پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • داود نودهی، عبدالجواد نوین روز، پایان نامه کارشناسی ارشد فیزیک ...
  • John A. Thornton, A. S. Pentold & J. L Lamb ...
  • D. R. Mckenzie, Gold, Siler, Chromium and Copper selective surfaces ...
  • J. A. Thornton, J. L. Lamb and A. S. Penfold ...
  • M. Kharrazi Olsson, K. Macak, U. Helmersson & B. Hjorvarsson, ...
  • K. Macak T. Nyberg, P. Macak, M. Kharrazi Olsson, U. ...
  • نمایش کامل مراجع