زدایش ناهمسانگرد پلی اتیلن ترفتالیت به کمک اشعه ماوراء بنفش

سال انتشار: 1382
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 937

فایل این مقاله در 8 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

ICEE11_136

تاریخ نمایه سازی: 18 تیر 1391

چکیده مقاله:

دراین مقاله روشی برای زدایش ناهمسانگر پلی اتیلن ترفتالیت به کمک اشعه ماورا بنفش ارایه می شود پلی اتیلن ترفتالیت یک نوع پلاستیک می باشد که با داشتن خواص خوب مکانیکی به عنوان زیرلایه ای مناسب برای ساخت حسگرهایی که احتیاج به انعطاف پذیری دارند بکارمی رود همچنین می توان از این پلیمربجای PMMA درفرایند لیگا سود برد یافتن ماسکی مناسب برای نور UV که چسبندگی خوبی به PET داشته باشد و از استحکام خوبی برخوردار باشد مورد کنکاش قرارمیگیرد درادامه اثرات تغییرات دما و شدت نور UV برروی نرخ زدایش مورد بررسی قرارمیگیرد و نمونه هایی از زدایشهای انجام گرفته و به این روش درپایان مقاله آورده می شود.

کلیدواژه ها:

زدایش ناهمسانگرد - MEMS ، PET ماسک - ترک خوردگی - لایه نشانی چندلایه

نویسندگان

تیمور ملکی

آزمایشگاه تحقیقاتی لایه نازیک انیستیتو برق و کامپیوتر دانشگاه تهران

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • K. E. Petersen, "Silicon as a mechanica material" Prok IEEE, ...
  • B. Kim, and D.Cho, "Aqueous KOH etching of (110) silicon-etch ...
  • S. Lee, C. Cho, J. Kim, S. Park, S. Yi, ...
  • S. Lee, S. Park, D. Cho, _ Surface/bulk Micromachining (SBM) ...
  • "Semiconductor Sensors" _ Edited by S.M.Sze, McGrow-Hill, 1994. ...
  • T. Steckenreither, H. Fuess, M. Stamm, C. Trautmanm., _ Solvent-induce ...
  • T.Steckenreiter, M. Esser, H.Fuess, J. Fuhrmann, R. Spohr, C. Trautmann, ...
  • L. Q. Peng, S. C. Wang, X. Ju, H. Xiao, ...
  • - Jasprit Singh, "Semiconductr Devices", McGrow-Hill, 1998. ...
  • th ICEE, May 2003, Vol. 1 ...
  • نمایش کامل مراجع