ارائه یک سوئیچ جدید MEMS به منظورکاهش اثرخودتحریکی و چسبندگی

دراین مقاله یک ساختار جدید برای سوئیچ های میکروالکترومکانیکی نوع موازی ارایه شده است مشخصه بارز سوئیچ پیشنهاد شده ایزوله شدن بخش مرکزی بازو از زمین است که باعث کاهش پدیده های خود تحریکی و چسبندگی به دلیل ولتاژ موثر حاصل از سیگنال های با توان بالا دراین ساختار شده است کاهش پدیده های خودتحریکی و چسبندگی درسوئیچهای میکروالکترومکانیکی می تواند باعث افزایش توان قابل حمل این سوئیچ ها و همچنین افزایش قابلیت اطمینان آنها درتوان های بالا شود از سوی دیگر ایزوله شدن بخش مرکزی باعث بهبود پارامترهای پراکندگی درحالت عدم تحریک سوئیچ می شود با توجه به نتایج شبیه سا زی مقدار تلفات داخلی سوئیچ درحالت عدم تحریک درفرکانس های 10 و 50 GHz به ترتیب برابر با 0.02dB و 0.18dB است از طرف دیگر مقدار ایزولاسیون این سوئیچ درحالت تحریک برابر 14dB و 30 درفرکانسهای 10 و 50GHZ می باشد.

کلیدواژه ها:

توان های قابل حمل بالا ، چسبندگی ، خودتحریکی ، سوئیچ MEMS ، قابلیت اطمینان