سامانه خودکانونی با استفاده از هد دستگاه DVDبرای لیتوگرافی لیزری
محل انتشار: بیستمین کنفرانس مهندسی برق ایران
سال انتشار: 1391
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,277
فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICEE20_311
تاریخ نمایه سازی: 14 مرداد 1391
چکیده مقاله:
هد دستگاه های ذخیره ساز اطلاعات نوری ) - CD ، DVD و Blue Ray ( برای حفظ اتوماتیک فاصله کانونی لیزر تا دیسک از روش آستیگماتیسم برای خودکانونی بهره می گیرند. در این مقاله، با استخراج مشخصه های هد نوری، آشکارساز و محرک های الکترومغناطیسی دستگاه DVD ، زیرسامانه خود کانونی با دقت میکرومتری طراحی و ساخته شده است که می تواند به عنوان یک سنسور نوری دقیق جهت نگهداری زیرلایه در ارتفاع مناسب از لیزر در دستگاه لیتوگرافی مستقیم لیزری بکار رود. لیتوگرافی مستقیم لیزری کاربرد فراوانی در ساخت قطعات میکروالکترونیک، میکروفوتونیک و MEMS دارد و بوسیله آن می توان لیتوگرافی این قطعات را در ابعاد میکرون و حتی زیر میکرون انجام داد. این سامانه از لیزری با طول موج 650 نانومتر و توان 1/2میلی وات استفاده می کند و لکه ای با قطر 900 نانومتر را بر روی زیرلایه ایجاد می نماید.
کلیدواژه ها:
نویسندگان