کاهش خطای ناشی ازتغییرات دمایی درشتاب سنجهای mems به کمک روشهای فعال و غیرفعال

درچند دهه اخیر شتاب سنجهای MEMS به دلیل ویژگیهای بارزی چون اندازه کوچک قیمت کم و سادگی استفاده بطور گسترده ای دربخشهای مختلف صنعت بکارگرفته شدها ند این سنسورها مستقل ازتغییرات شرایط محیطی و بویژه دما نیست دراین صورت درکاربردهای حساس و مهم برای دستیافتن به دقت بالاتر خروجی سنسور نیاز به جبران دارد این خطا معمولا بصورت تغییر ولتاژ بایاس ظاهر میشود دراین مقاله ابتدا ازیک شبکه عصبی بعنوان یک روش غیرفعال برای جبرانسازی سنسور Adx1345 که دارای سه شتاب سنج درراستای سه محور مختصات است کمک گرفته میشود به این ترتیب مقدار رانش دمایی برای محور X از 13.613mg به 0.101mgبرای محور Y از9.965mg به 0.159mg و برای محورZ از26.782mg به 0.219mgکاهش یافته است درادامه با استفاده ازکنترل و تثبیت دما به عنوان روشی فعال برای جبران سازی متوسط خطای خروجی سنسور درمحورX از13.613mg به 0.677mg درمحور y از9.965mg به 0.288mg و برای محور z از26.782mg به0.741mg کاهش می یابد مقایسه نتایج نشان میدهد استفاده ازروش شبکه عصبی درمقایسه با روش کنترل دمایی برای جبرانسازی خروجی سنسور شتاب سنج نتایج بهتری را درپی دارد.

کلیدواژه ها:

سنسورشتاب سنجMEMS ، شبکه عصبی ، کنترل دمایی ، مشخصات دمایی