طراحی باریکه های یک طرف ثابت برای خازن متغیر در سیستم های میکروالکترومکانیکی

این مقاله طراحی باریکه یک طرف ثابت میکروالکترومکانیکی و مدل ولتاژ متوقف کنندگی را در پارامترهای باریکه از قبیل طول، عرض، ضخامت و فاصله هوایی (یا با دی الکتریک) توضیح می دهد و کاربرد باریکه یک طرف ثابت میکرو را به عنوان خازن متغیر شرح می دهد. خازن متغیر از چند باریکه یک طرف ثابت با طول های متفاوت که روی یک الکترود ثابت معلق هستند، تشکیل می شود. با اعمال ولتاژ بین الکترودها، نیروی الکتروستانیکی به باریکه ها یکی بعد از دیگری فشار وارد می کند که باعث افزایش دیجیتالی ظرفیت می شود.

کلیدواژه ها:

باریکه یک طرف ثابت ، خازن متغیر ، دی الکتریک ، سیستم میکروالکترومکانیکی ، ولتاژ متوقف کنندگی