فرایندهایی برای سیستم های میکروالکترومکانیکی (MEMS)

؛MEMS، نماینده ی یکی از مهیج ترین زمینههای فعالیت میکروالکترونیکی می باشد. تکنولوژی MEMS نوآوری هایی از همه ی زمینه هی میکروالکترومکانیک را گردآوری کرده است تا سریعاً به یک نظم و قاعده ای توسعه یابد. سیستم های میکرواکلترومکانیکی امروزه، پردازش سیگنال و قابلیت محاسباتی مدارهایی مجتمع آنالوگ و دیجیتال را به همراه تغییرات زیاد المانهای نانوالکترونیکی که شامل حسگرهای فشار، دما و شیمیایی، چرخ دنده های مکانیکی و به کار اندازنده ها، ساختارهایی آینه ای سه بعدی و ... را با هم ترکیب می کنند و ما فقط شروع به قلم زدن سطح برای کاربردهایی پزشکی می کنیم. شه عنوان یک مقدمه ی کوتاه، این بخش برای تأمین طعم و مزه ای از خلاقیت و دسته ی وسیعی از ادوات و ساختارها می کند که هنگامی که شما متن را می خوانید می توانید بفهمید.

کلیدواژه ها:

میکروماشین کاری حجیم ، ساختارهای آبکاری