تکنولوژی سیلیکون برای سیستمهای میکرو- الکترومکانیک (MEMS) نوری

قطعاتی که بواسطه تکنولوژی های نوظهور سیستم های میکرو- الکترومکانیک (MEMS) ساخته شده اند، در کاربردهایی که دارای سنسورها و راه اندازها با آکچوایتورهای فزاینده ای می باشند مورد استفاده قرار گرفته اند. مکانیزم هایی که اجازه می دهند تا حرکت و ساختارهای وابسته به آن دارای محرک های الکتریکی گردند در سیستم میکروالکترومکانیک نوری (MOEMS) ترکیب می گردند. بسیاری از اجزای MOEMS نور را در پرتوهای نوری فضای- آزاد مینیاتوری پردازش نموده و بر این اساس قوانین مقیاس دهی عملکرد آنها معمولاً متمایز از سیستم های نوری موج هدایت شده می باشد. این مقاله سیستم های میکرو الکترومکانیک را مورد بررسی قرار داده و بر این اساس بر روی چالش های برجسته متخصصین فیزیک و مهندسین تأکید می نماید. در این تحقیق، سیلیکون و دیگر مواد و تکنولوژی ها که بمنظور ساخت ادوات سیستم های میکرو الکترومکانیک مورد استفاده قرار می گیرند، با جزئیات مربوط بدانها، بعنوان کاربردهای نمونه در پکیچینگ، نظیر کانکتورهای ثابت و متحرک و روش های مجتمع هیبرید یا ترکیبی، مورد بررسی قرار گرفته اند.

کلیدواژه ها:

میکرو- الکترومکانیک ، آکچوایتور ، MOEMS ، سیلیکون