تحلیل و شناسایی خطای محیطی میکروسکوپهای پروبی روبشی در فرآیند ساخت نانوسازه ها

تا این تاریخ، آنالیزهای مقداری(کمّی) بسیار واضحی از پدیده دریفت SPM در فرآیندهای نانوساخت(نانومنیپولیشن) و نانوتصویرگیری ارائه نشده است. زیرا تا به حال تحلیل مکانیکی مشخصی از سیستم صورت نگرفته و تمامی بیان ها فقط از سر حدس و گمان بوده است. در این مقاله آنالیز کمّی پدیده دریفت که عامل اصلی خطا در این سیستمها می باشد، انجام و مقدار آن در فرآیند تصویرگیری و همچنین فرآیند نانوساخت (نانومنیپولیشن) تخمین زده می شود. با درنظرگرفتن گرمای تولیدی در اکچویتور پیزوتیوب، مقدار دریفت سیستم محاسبه شده و نتایج بدست آمده به خوبی با نتایج تجربی انجام شده توسط گروهی فعال در این زمینه مطابقت دارد.

کلیدواژه ها:

میکروسکوپ پروبی روبشی ، رانش حرارتی ، نانومنیپولیشن ، تحلیل فضایی ، نانوسازه