طراحی و ساخت ساختار مکانیکی نوین برای میکروحسگر اندازه گیری زاویه میکروالکترومکانیکی(MEMS) با تکنولوژی میکروماشینکاری
محل انتشار: دهمین کنفرانس ملی مهندسی ساخت و تولید
سال انتشار: 1388
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,303
فایل این مقاله در 8 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICME10_379
تاریخ نمایه سازی: 29 آبان 1388
چکیده مقاله:
میکرو حسگر های غیرتماسی اندازه گیری زاویه با اصول مختلفی ساخته شده اند. حسگر های میکروماشینکاری شده که در ساخت سیستم های میکروالکترومکانیکی MEMS مورد استفاده قرار می گیرد، دارای دقت بالاتر، سرمایه گذاری اولیه پایینتر و تکنولوژی ساخت نسبتا ساده تری هستند. بر همین اساس طراحی و ساخت میکروحسگر بر اساس تیرهای پیچشی برای اولین بار با الهام از ساختار مکانیکی مورد استفاده در حسگر های شتاب، با تیر های خمشی مبنای این تحقیق قرار گرفت. ساختار متحرک حسگر اندازه گیری زاویه که در این تحقیق طراحی و مدلسازی شده است، اولینساختار میکروماشینکاری شده سیلیکنی در داخل کشور می باشد. ساختار میکرومکانیکی سیلیکنی این حسگر با برطرف کردن مشکلات اجرایی از قبیل زدایش زیرین پس از چند مرحله نمونه سازی و اصلاح طرح با موفقیت ساخته شد.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
نیما سیاف
کارشناس ارشد مهندسی مکانیک، دانشگاه صنعتی امیرکبیر
فرشاد برازنده
استادیار، دانشکده مهندسی مکانیک، دانشگاه صنعتی امیرکبیر
محمدرضا رازفر
استادیار، دانشکده مهندسی مکانیک، دانشگاه صنعتی امیرکبیر
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :