3D XPS Imaging of Surface Nano-structures; A New Technique

سال انتشار: 1387
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: انگلیسی
مشاهده: 1,682

متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

ICNN02_001

تاریخ نمایه سازی: 27 شهریور 1391

چکیده مقاله:

XPS energy spectra vary characteristically with the depth distribution of electron emitting atoms on the nano-scale. This is the basis for the by now well known and widely used method [1] to non-destructively determine atomic depth distributions with nano-meter resolution by analysis of the inelastically scattered electrons associated with the XPS peak.A new algorithm which is suitable for automation was suggested recently [2]. For each XPS signal, this algorithm determines the total amount of the corresponding atoms within the outermost ~ 10 nm and it also determines their depth distribution. The validity of the algorithm for large area (~5×5mm2) XPS was demonstrated experimentally by comparison to more elaborate quantification methods [3]. Software that can automatically analyze several thousand spectra corresponding to the situation in XPS imaging is developed. The software produces nondestructively an image of the surface with nanometer depth resolution. The practical applicability for XPS imaging was recently demonstrated [4-6]. Here, we will summarize the technique and discuss its capabilities for 3D XPS-imaging of Surface Nano-structures

نویسندگان

S Hajati

Department of Physics and Chemistry, University of Southern Denmark, DK–۵۲۳۰, Odense M, Denmark

S Tougaard

Department of Physics, Yasouj University, Yasouj ۷۵۹۱۹-۳۵۳, Iran;

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • S. Tougaard, J. Vac. Sci. Technol. A23, 741-745, 2005 ...
  • S. Hajati, S. Coultas, C Blomfield and S. Tougaard, Surf. ...
  • S. Hajati, S. Coultas, C Blomfield and S. Tougaard, Surf. ...
  • S. Hajati, S. Tougard, J. Walton and N Fairley (submitted) ...
  • S. Tougaard, Surf. Interf. Anal. 26, 249-269, 1998 ...
  • S. Tougaard, J. Vac. Sci. Technol. A21, 1081-1086, 2003 ...
  • S. Tougaard, J. Vac. Sci. Technol. A23, 741-745, 2005 ...
  • نمایش کامل مراجع