ورود
مقالات فارسیISIکنفرانسهاژورنالها

اندازه گیری نمایه هندسی سطح و تعیین نوفه فاز بازسازی شده با استفاده از تداخل سنجی میراو

محل انتشار: شانزدهمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران
سال انتشار: 1388
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,107

متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:
https://civilica.com/doc/73593

شناسه ملی سند علمی:

ICOPTICP16_048

تاریخ نمایه سازی: 18 تیر 1388

چکیده مقاله:

در این مقاله یک نمونه از نمایه سنجهای نوری غیر تماسی توصیف شده است. این نمایه سنج نوری برپایه تداخل سنجی میکروسکوپی بازتابی، با بکارگیری تداخل سنج میراو ساخته و برای اندازه گیری نمایه هندسی سطوح در ابعاد چند صد نانومتری بکار برده شد. ارتفاع دیواره نانومتری با دقت (5%) 20nm اندازه گیری و شکل سه بعدی ان با روش انتقال فازی سه پله ای بازسازی شد. روش واریانس دو بعدی برای نوفه یابی فاز بازسازی شده ابداء و روشی بهینه نسبت به روش گرادیان فاز، شناخته شد.

کلیدواژه ها:

نویسندگان

جعفر مصطفوی امجد

مرکز تحصیلات تکمیلی در علوم پایه زنجان

حمیدرضا خالصی فرد

مرکز تحصیلات تکمیلی در علوم پایه زنجان

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • DOI, T, Absolute Calibration of Step Height by a Novel ...
  • Kang, J. W, Phase-Contrat Microscopy by in-line Phase _ p. ...
  • _ _ _ exchanged Glasses, p. 41, IJOP Vol. 2(1), ...
  • Creath, K, Ctulibrattion of Numerical Aperture Effects in Interferometric Microscope ...
    • نمایش کامل مراجع