به کارگیری روش هم بستگی در اندازه گیری ضخامت لایه های نانومتری اپتیکی از روی تداخل نگاشت فیزو

لایه های اپتیکی نانومتری روی شیشه در خلا تهیه شد. ضخامت آنها به صورت بلادرنگ با بلور کوارتز پایشگری و کنترل می شود و جهت زینه بندی کردن دستگاه، ضخامت لایه ها به روش اپتیکی اندازه گیری شد. به این منظور، تداخل سنج فیزو برای ثبت فریزهای تداخلی ناشی از پله، به کار گرفته شد. سپس در این کار روش جدید و دقیق تر همبستگی، برای یافتن ضخامت لایه های نازک در ابعاد نانومتری معرفی و به کاررفت. ضخامت پله نشانده شده با دو روش میانگین گیری و همبستگی اندازه گیری و نتایج ثبت گردید. دقت بالاتر، کاهش نوفه و امکان ضخامت سنجی لایه های با ضخامت بیش از نیم طول موج، از مزیت های این روش است. همه نتایج در توافق بسیار خوبی با عدد اعلام شده توسط بلور کوارتز هستند.

کلیدواژه ها:

ضخامت سنجی ، لایه نازک ، روش همبستگی