طراحی و تحلیل یک حسگر فشار خازنی میکرو الکترومکانیکی جدید با حساسیت و خطی بودن بالا

این مقاله برروی طراحی یک حسگر فشار خازنی میکرو الکترومکانیکی جدید با دیافراگم پل های مربعی مورد استفادهدر سیستم کنترل فشار تایر متمرکز شده است. ساختار دیافراگم حسگر نقش کلیدی در تعیین میزان حساسیت حسگرو غیر خطی بودن خروجی آن ایفا میکند. لذا در ابتدا ساختار دو حسگر فشار خازنی با دیافراگم مربعی ساده چهارطرف ثابت، با ضخامت های متفاوت شبیه سازی شده و میزان حساسیت و غیر خطی بودن آنها با هم مقایسه گردیده ودر نهایت برای غلبه بر معایب، به معرفی حسگر فشار خازنی با دیافراگم پل های مربعی پرداخته و یک حل عددی برای تعیین دقیق میزان حساسیت حسگر ارائه گردیده است. نتایج نشان می دهد که حساسیت حسگر از مقدار0/063fF/ KPa در دیافراگم ساده به مقدار 0/107fF/KPa در دیافراگم پل های افزایش و میزان غیر خطی بودن نیز از 2/37 درصد در دیافراگم ساده به مقدار 1/857 درصد در دیافراگم پلهای کاهش یافته است. بنابراین در این طرح میزان حساسیت و غیر خطی بودن حسگر فشار تایر همزمان بهبود یافته است. به علاوه نتایج تئوری با نتایج شبیه سازی، بسیاردر توافق نزدیک می باشند.

کلیدواژه ها:

حسگر فشار خازنی ، حساسیت ، سیستم کنترل فشار تایر ، غیر خطی