Synthesis of Aligned Carbon nanotube by Direct Current Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) System

سال انتشار: 1389
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: انگلیسی
مشاهده: 1,191

فایل این مقاله در 8 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

IOGPC17_180

تاریخ نمایه سازی: 3 آبان 1389

چکیده مقاله:

Carbon nanotube CNT is the latest allotrope of carbon discovered by ijima in 1991 . Since then , CNTs have been a leading candidate in continued improvement of the performance , speed and density of integrated circuits. Since carbon nanotubes CNTs were discovered relevant researches hvae multiplied and the development of commercial applications such as hydrogen storage , atomic force microscope probe , microelectronic transistor and so on. High-quality and well - aligned carbon nanotubes are essential to the potential applications in the field of microelectronic industries . many kinds of synthetic techniques have been developed , such as laser ablation , plasma-enhanced chemical vapor deposition , arc discharge , pyrolysis , and thermal chemical vapor deposition. in this work we built a DC plasma source 1KW and designed a special quartz reactor for synthesis of aligned carbon nanotube . we use Ni/SiO2/Si substrates. samples surface should clean before oxidation and deposition the catalyst . then silicon samples first put in ultrasonic bath of alcohol and acetone for 5 minutes and then rinsed by distilled water.

نویسندگان

ali afzali

gas research division research institute of petroleum industry R.I.P.I

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • Z.F. Ren, Z.P. Huang, J.W. Xu, J.H. Wang, P. Bush, ...
  • v.I. Merkulov, D.H. Lowndes, Y.Y. Wei, G. Eres, E. Voelkl, ...
  • M. Chhowalla, K.B.K. Teo, C. Ducati, N.L. Rupesinghe, G.A.J. Amaratunga, ...
  • B.O. Boskovic, V. Stolojan, R.U.A. Khan, S. Haq, S.R.P. Silva, ...
  • نمایش کامل مراجع