تهیه لایه های های نازک تیتانیوم بهروش کندوپاش پلاسمایی و بررسی آهنگ نهشت به فاصله کاتد از زیرلایه و فشار

سال انتشار: 1385
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,379

متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

IPC85_162

تاریخ نمایه سازی: 13 بهمن 1385

چکیده مقاله:

در این کار تجربی فلز Ti بهصورت فیلم نازک با استفا ده از کندوپاش مگنترونی به روی بستر شیشه ای نشانده شده و تغییر آهنگ نهشت فیلم با فاصله کاتـد و زیرلایـه و همین طور فشار در سه حالت مختلف با منابع تغذیه RF و DC بطور جداگانه و با هم بررسی شده است . مقایسه نتایج تجربی حاصله نشان می دهند کـه آهنـگ نهـشت متناسب با در حالات مختلف ذکر شده در بالاست . در فشارهای بالاتر آهنگ نهشت به خاطر پراکندگی اتمهای کندوپاشی با مولکولهای گاز باقیمانده، کـاهش مـی یابد .

نویسندگان

فرامرز هادیان

گروه حالت جامد دانشکده فیزیک دانشگاه تبریز

حسن بیدادی

گروه حالت جامد دانشکده فیزیک دانشگاه تبریز

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • Ohring, M. 2002. Material science of thin filn. Academic press. ...
  • B ogaerts , A.Neyts, E. Gij bels , R .Mullen, ...
  • and their applications _ Spectrochimic a Acta Part B 57 ...
  • Arbab, M. Shelestak, L, J. Harris, C, S. 2005. Value-Added ...
  • Ekertova, L. 1990. Physics of thin film. Plenum press. ...
  • نمایش کامل مراجع