بررسی آسیب بلوری ایجاد شده در بلور سیلیسیم بعد از کاشت یون های ژرمانیوم

سال انتشار: 1386
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,298

متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

IPC86_213

تاریخ نمایه سازی: 20 دی 1385

چکیده مقاله:

در این مقاله آسیب ایجاد شده بر اثر کاشت ناخالصی ژرمانیوم با دو دز و انرژی متفاوت را در تک بلور سیلیسیم بررسی می نماییم . پروفایل اتم های سیلیسیم جابجا شده از مکان شبکه ای خود بر حسب عمق بعد از کاشت یون به دست می آید . نتایج به دست آمده با محاسبات نرم افزار TRIM و پیشگویی مدل اصلاح شدهKinchin-Pease مقایسه می گردد . همچنین در این مقاله سعی شده است تا اثر دز و انرژی یون های کاشت شده در ایجاد آسیب بلوری بررسی گردد . اثر بازپخت حرارتی بر ترمیم بلوری شبکه سیلیسیم نیز مطالعه می گردد

نویسندگان

علی باقی زاده

آزمایشگاه واندوگراف، پژوهشکده علوم هسته ای، پژوهشگاه علوم و تکنولوژی هسته ای

داود آقاعلی گل

آزمایشگاه واندوگراف، پژوهشکده علوم هسته ای، پژوهشگاه علوم و تکنولوژی هسته ای

علی اکبر دبیرزاده

آزمایشگاه طراحی و ساخت تجهیزات هسته ای، پژوهشکده علوم هسته ای، پژوهشگاه علوم و تکنولوژی هسته ای

محمد فرمهینی فراهانی

آزمایشگاه واندوگراف، پژوهشکده علوم هسته ای، پژوهشگاه علوم و تکنولوژی هسته ای