كاشت يون دي اكسيدكربن بر روي تيتانيوم نيترايد ( TiN)  Fulltext 

[ شهرام ترابي ] - دانشگاه آزاد اسلامي واحد كرج، گروه فيزيك
[ اميرحسين ساري ] - مركز تحقيقات فيزيك پلاسما،واحد علوم و تحقيقات دانشگاه آزاد اسلامي ، تهران
[ عليرضا هژبري ] - دانشگاه آزاد اسلامي واحد كرج، گروه فيزيك
[ محود قرآن نويس ] - مركز تحقيقات فيزيك پلاسما،واحد علوم و تحقيقات دانشگاه آزاد اسلامي ، تهران

خلاصه مقاله:

نمونه تيتانيوم را با دوزهاي [مقادير در متن مقاله] يون بر سانتي متر مربع ، بوسيله نيتروژن با انرژي ٣٠ kev كاشت مي كنيم و سپس آنها را توسط يون CO2 با همان انرژي و با دوزهاي [مقادير در متن مقاله] يون بر سانتي متر مربع مورد كاشت قرار مي دهيم . براي بررسي توپوگرافي و زبري در نمونه ها بوسيله ميكروسكوپ نيروي اتمي (AFM) از آنها تصوير گرفته شد . همچنين ساختار نمونه و فازهاي تشكيل شده توسط پراش پرتو (XRD) x بررسي گرديد . همچنين سختي نمونه بوسيله سختي سنجي ويكرز (VHN) اندازه گيري شد . نتايج نشان مي دهد كه با افزايش دوز نيتروژن ميزان تراكم اتم ها در نمونه بيشتر ، سطح زبرتر، اندازه دانه ها بزرگتر مي شود و ميزان سختي نيز تا حدي افزايش و سپس كاهش مي يابد . بعد از كاشت CO2 افزايش دوز سبب شده كه ميزان زبري سطح افزوده، اندازه دانه ها درشت تر و ميزان سختي زياد مي گردد ، كه اين افزايش سختي احتمالاً به دليل فاز هاي تشكيل شده خواهد بود .