تهیه لایه های نازک تیتانیوم بر روی زیرلایه های شیشه ای به روش کندوپاش مگنترونی و بررسی خواص الکتریکی آنها

سال انتشار: 1387
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 953

فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

IPC87_276

تاریخ نمایه سازی: 24 آذر 1388

چکیده مقاله:

در این کار تجربی لایه های نازکی از تیتانیوم در ابعاد کوچک با استفاده از دستگاه کندوپاش مگنترونی، تحت شرایط متفاوت بر روی زیر لایه های شیشه ای تهیه و تأثیر چهار پارامتر مهم دمای زیرلایه، فشار گاز کاری (آرگن)، انرژی یون های تولید شده در پلاسما و فشار پایه بر روی خواص الکتریکی این لایه ها مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج حاصله نشان می دهد که مقاومت الکتریکی لایه های نازک تیتانیومی با افزایش دمای زیرلایه کاهش یافته ، با افزایش فشار پایه و فشار گاز آرگن افزایش پیدا می کند. افزایش انرژی یون های فرودی نیز موجب کاهش مقاومت لایه ها می گردد .ضمناً علل تغییرات مشاهده شده درمقاومت در اثر افزایش دمای زیرلایه، فشار گاز آرگن، انرژی یون های فرودی و فشار پایه مورد بحث قرار گرفته است.

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • I3] میرعباس‌زاده، کاووس؛ نایبی، پیمان؛، تکنولوژی ساخت لا یه‌های نازک ...
  • I4] سوالونی، هادی؛ مبانی علم سطح در فناوری؛ دانشگاه تهران؛(1383)؛ ...
  • [ه) امیری، پیمان، بررسی خواص الکتریکی تک بلورهایلایه‌ای BiTe نوع ...
  • مقاله‌نامه‌ی کنفرانس سالانه‌ی فیزیک ایران 1387 ...
  • Jeyachandan , Y. L. Karunagaran, B Narayandass, Sa.K. Mangalaraj, D. ...
  • Hummel, Rolf., E.: Electronic properties of material; Academic press (1992). ...
  • Jeyachandan , Y. _ Karunagaran, B., Narayandass, Sa.K., Mangalaraj, _ ...
  • نمایش کامل مراجع