سنسورهای فشار خازنی MEMS : مروری بر توسعه اخیر و آینده ی آن
سال انتشار: 1395
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 2,093
فایل این مقاله در 21 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
IRCEM01_233
تاریخ نمایه سازی: 25 آذر 1395
چکیده مقاله:
اخیراً، سنسور(حسگر) فشار خازنی MEMS به دلیل حساسیت بالا، مصرف برق کم، عدم تأثیرپذیری از دما،سازگاری مدار مجتمع و غیره، مزیت بیشتری را نسبت به سنسورفشار ۱ پیزورزیستیومیکروماشینی بدست آوردهاست. کاربرد سنسورفشار خازنی در حال گسترش است، از این رو، بازبینی مسیر توسعه فنی و آینده سنسورفشارخازنی میکروماشینی ضروری است. در این مقاله بر مرور انواع گوناگون سنسورفشار خازنی، مواد MEMS به کاررفته در ساخت آن، روشهایی که در ریزساخت سیلیکون و دیافراگم مواد پلیمری پذیرفته شده اند، فناوری هایبسته بندی و اتصال تأکید می شود. نتیجه انتخابی درباره حساسیت خازنی و اثر دما بر حساسیت خازنی نیز نشانداده می شود. در نهایت، درباره ساخت سنسورهوشمند بحث می شود. سنسورفشار خازنی MEMS ، مروری برسنسورفشار، CDPS ، ساخت ممز (MEMS) ، مواد MEMS ، سنسورفشار، MEMS (دستگاه میکروالکترومکانیکی) از موارد مورد بحث ما در این مقاله می باشند.
نویسندگان
علیرضا بهادری مهر
مرکز آموزش عالی فنی و مهندسی بوئین زهرا، گروه مهندسی برق و کامپیوتر، بوئین زهرا، قزوین، ایران
عباس بدری آزاد
گروه مهندسی برق، دانشکده فنی و مهندسی، دانشگاه آزاد اسلامی، واحد تهران جنوب
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :