سنسورهای فشار خازنی MEMS : مروری بر توسعه اخیر و آینده ی آن

سال انتشار: 1395
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 2,093

فایل این مقاله در 21 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

IRCEM01_233

تاریخ نمایه سازی: 25 آذر 1395

چکیده مقاله:

اخیراً، سنسور(حسگر) فشار خازنی MEMS به دلیل حساسیت بالا، مصرف برق کم، عدم تأثیرپذیری از دما،سازگاری مدار مجتمع و غیره، مزیت بیشتری را نسبت به سنسورفشار ۱ پیزورزیستیومیکروماشینی بدست آوردهاست. کاربرد سنسورفشار خازنی در حال گسترش است، از این رو، بازبینی مسیر توسعه فنی و آینده سنسورفشارخازنی میکروماشینی ضروری است. در این مقاله بر مرور انواع گوناگون سنسورفشار خازنی، مواد MEMS به کاررفته در ساخت آن، روشهایی که در ریزساخت سیلیکون و دیافراگم مواد پلیمری پذیرفته شده اند، فناوری هایبسته بندی و اتصال تأکید می شود. نتیجه انتخابی درباره حساسیت خازنی و اثر دما بر حساسیت خازنی نیز نشانداده می شود. در نهایت، درباره ساخت سنسورهوشمند بحث می شود. سنسورفشار خازنی MEMS ، مروری برسنسورفشار، CDPS ، ساخت ممز (MEMS) ، مواد MEMS ، سنسورفشار، MEMS (دستگاه میکروالکترومکانیکی) از موارد مورد بحث ما در این مقاله می باشند.

نویسندگان

علیرضا بهادری مهر

مرکز آموزش عالی فنی و مهندسی بوئین زهرا، گروه مهندسی برق و کامپیوتر، بوئین زهرا، قزوین، ایران

عباس بدری آزاد

گروه مهندسی برق، دانشکده فنی و مهندسی، دانشگاه آزاد اسلامی، واحد تهران جنوب

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • Smoothه [23] Jeahyeong Han, Junghoon Yeom, Junghyun Lee, Mark A. ...
  • W. P. Eaton and J. H. Smith, ، 0Micro machined ...
  • Liwei Lin and Weijie Yun, "MEMS Pressure Sensors for Aerospace ...
  • David s. Eddy and Douglas R, Spark S, "Application of ...
  • William J. Fleming, "Overview of Automotive Sensors", IEEE Sensors Journal, ...
  • Aini hussian, et.al. _ C haracterization of MEMS automotive sensor ...
  • William P. Eaton, James H. Smith, David J. Monk, Gary ...
  • S. Timoshenko and S. Wo inowsky- Krieger, Theory of Plates ...
  • Shih-Chin Gong, :Effects of pressure sensor dimensions on process window ...
  • S. T. Cho, K. Najafi, and K. D. Wise, "Secondary ...
  • Jeahyeong Han and Mark A. Shannon, _ Smooth Contact Capacitive ...
  • Chang Liu, "Foundation of MEMS" second edition, Pearson Education Limited, ...
  • Vance d A. Browne, George E Kochanek, "Capacitance pressure sensor", ...
  • W. P. Eaton, Bevan D, James H smith, "Capacitance pressure ...
  • Keith.W, golker, Thomas E. Hendrikson Charles C, Hung, "High sensitivity ...
  • Novel Electrostatic Servo Capacitive Vacuum Sensor", 1997 A؛" [16] Yuelin ...
  • Fang He, Qing-An Huang, Ming Qin, _ silicon directly bonded ...
  • Hussam Eldin A. Elgamel, "A simple and efficient technique for ...
  • novel capacitive pressure Sensor A:ه [19] Aziz Ettouhami, Noureddine Zahid, ...
  • Abhijeet V. Chavan, and Kensall D Wise, _ atch-Processed Vacuum- ...
  • Wen H. Ko, Qiang Wang, "Touch mode capacitive pressure sensors", ...
  • Qiang Wang, Wen H. Ko, "Modeling of touch mode capacitive ...
  • Wen H. KO, Qiang Wang, "Touch Mode Capacitive Pressure Sensors ...
  • Leslie B Wilner, Polo alto, Calif, "Differential capacitive transducer and ...
  • P. Eswaran, S. Malarvizhi, "Simulation Analysis of MEMS Based Capacitive ...
  • DOI: 1 0.4028/www. scientific .net/AMR. 403-408.41 52, 2012. ...
  • P. Eswaran, S. Malarvizhi, "Design Analysis of MEMS Capacitive Differential ...
  • P. Eswaran, S. Malarvizhi, "Modeling and Analysis of High Sensitive ...
  • P. Eswaran, S. Malarvizhi, "Sensitivity Analysis on MEMS Capacitive Differential ...
  • P. Eswaran, S. Malarvizhi, "Modeling of High sensitive MEMS differential ...
  • P. Eswaran, S. Malarvizhi, "Modeling of MEMS Capacitive Differential Pressure ...
  • P. Eswaran, S. Malarvizhi, "Micro capacitive Differential Pressure Sensor Diaphragm ...
  • Zhang.Y, Howver.R, Gogoi.B and Yazdi, _ High-Sensitive Ultra Thin MEMS ...
  • C. Pedersen, S. T. Jesperseny, J. P. Krog, C. Christensen, ...
  • Lamyanba yambem, Murat Kaya yapici, Junzou, _ wireless sensor system ...
  • Po-Jui Chen, IEEE, Damien C. Rodger, Saloomeh Saati, Mark S. ...
  • Duck-Bong Seo, Robin Shandas, " Design And Simulation Of A ...
  • Low-Cot Pressure Sensor for A؛ه [38] Han-Chang Wu, Shuenn-Tsong Young, ...
  • Anton F. P. Van Putten, Michael J. A. M. van ...
  • Kerstin E. Babbitt, Lynn Fuller, Bradley Keller, _ Surface Micro ...
  • Yuelin Wang and M. Esashi, ":A Novel Electrostatic Servo Capacitive ...
  • Adriana Cozma, Robert Puers, "Electrostatic actuation as a self-testing method ...
  • Guchuan Zhu, Lahcen Saydy, Mehran Hosseini, Jean-Fransois Chianetta, and Yves-Alain ...
  • Chuang-Yuan Lee and Eun Sok Kim, _ _ iezoelectrically Actuated ...
  • Altti Torkkeli, Outi Rusanen, Jaakko Saarilahti, Heikki Seppa, Hanu Sipola, ...
  • Jainmin Miao, Rongming Lin, Longqing chen , Quanbo zou, Sin ...
  • J. Bergqvist, F. Rudolf, J. Maisano, F. Parodi, M. Rossi, ...
  • J. Bergqvist and J. Gobet, "Capacitive Microphone with a Surface ...
  • Jian Liu, David T. Martin, Toshikazu Nishida, Louis N. Cattafesta, ...
  • David T. Martin, Jian Liu, Karthik Kadirvel, Robert M. Fox, ...
  • Sazzadur Chowdhury, M. Ahmadi, W. C. Miller, "Nonlinear Effects in ...
  • Chang-Hung Chen, Heng-Chuan Kan, Po-Hua Yang and Wang Yeng-Tseng, "Modeling ...
  • Bahram Azizollah Ganjia, Burhanuddin Yeop Majlis, "Design and fabrication of ...
  • Yoshinori Iguchi, Masahide Goto, Masakazu Iwaki, Akio Andoa, Kenkichi Tanioka, ...
  • batch fabricated silicon capacitive pressure transducer with low A:ه [55] ...
  • Orhan Akbar, Tay fun Akin, Khalil Nijafi, ":A wireless batch ...
  • Gary K. Fedder, "MEMS Fabrication", Proceedings of International Conference on ...
  • Darrin J. Young, Jiangang Du, Christian A. Zorman, Wen H. ...
  • Ceramic Capacitive Pressure Microsensor with Screen-Printed A:ه [59] C. B. ...
  • Noel N. Nemeth , Osama Jadaan, Joseph L. Palko _ ...
  • Sung-pil chang, Geong bong lee, Mark G Allen, "Robust capacitive ...
  • Jithendra N. Palasagaram and Ramesh Ramadoss, "MEMS -Capacitive Pressure Sensor ...
  • Xuefeng Wang, Liang-Hsuan Lu, and Chang Liu, _ Micro machining ...
  • Patel Hardik, V Natrajan, "Design Modeling of polymer based capacitive ...
  • Min-Xin Zhou, Qing-An Huang, Ming Qin, "Modeling, design and fabrication ...
  • Kurt Petersen, Phillip Barth John Poydock Joe Brown, Joseph Mallonir., ...
  • Chengdu Lee, Wei-Fang Huang, Jin-Shown Shied, _ bonding by lo ...
  • Albert K. Henning, Nicholas morals, and Steven Metz, _ based ...
  • Minjie Zhang, Jianying Zhao, Lianxun Gao, "Glass wafers bonding via ...
  • Lue ouellet, "Wafer level MEMS packaging, US Patent 6635509B1, October ...
  • Leslie b. wilner, Polo alto, Calif, "Capacitive transducer", US patent ...
  • Abhijeet V. Chavan, Kensall D., _ Monolithic Fully- Integrated Vacuum- ...
  • Wei-Feng Huang, Jin-Shown Shie, Cheng-Kuo Lee, Shih C. Gong, Cheng-Jien ...
  • Senturia S D and Smith R L, "Microsensor packaging and ...
  • C. Pedersen, S.T. Jespersen, K.W. Jacobsen, J.P. Krog, C. Christensen, ...
  • mic/ fo rskning/mems- app lie ds ensors/public at io ns/art ...
  • C. Pedersen a, S.T. Jespersen, K.W. Jacobsen, J.P. Krog, C. ...
  • Tai-Ran Hsu, "Reliability in MEMS Packaging", Proceedings of 44th International ...
  • Reza Ghaffarian, "Reliability Issues of COTS MEMS Packaging", [Online]. Available: ...
  • Sung-Hoon Choa, "Reliability of MEMS packaging: Vacuum maintenance and packaging ...
  • Sung-Pil Chang, Mark G. Allen, _ Demo nstration for integrating ...
  • Steven C. Chen, Kang Lee, _ Mixed-Mode Smart Transducer Interface ...
  • Zhigang Feng, Qi Wang, and Katsunori Shida, "Design and Imp ...
  • نمایش کامل مراجع