آنالیز حساسیت پارامترهای هندسی میکروکانتیلور پیزوالکتریک در حرکت ارتعاشی خطی

میکروکانتیلورهای پیزوالکتریک نوع خاصی از تیرکها هستند که با داشتن قابلیت خود محرکی و خود اندازه گیری می توانند بعنوان میکرو روبات درAFMسنسور و محرک مورد استفاده قرار بگیرند. در این مقاله آنالیز حساسیت حرکت ارتعاشی یک میکروکانتیلور پیزوالکتریک با وجود ناپیوستگی های هندسی انجام شده است. از آنجایی که در حرکت های ارتعاشی دامنه تشدید وفرکانس طبیعی از اهمیت بالایی برخوردار هستند و در بسیاری از کاربردهای مهندسی مانندMEMS و AFM نیز مورد توجه می باشند، بنابراین آنالیز حساسیت بر روی این دو پارامتر انجام می شود. تحلیل ارتعاشی بر اساس مدل تیر غیر یکنواخت و بر اساستئوری اویلر- برنولی انجام شده است. به منظور آنالیز حساسیت حرکت ارتعاشی میکروکانتیلور به پارامترهای ابعاد هندسی لایه ها و نوک از روش سوبل استفاده شده است، تا پارامترهای حساس و غیر حساس و همچنین میزان تاثیر آنها در حرکت ارتعاشیمیکروکانتیلور پیزوالکتریک مشخص شود. نتایج شبیه سازی نشان می دهند که برای رسیدن به توانایی تحریک بهتر است که لایه پیزوالکتریک نازک، پهن و بلند انتخاب شود و نوک نیز نازک و کوتاه باشد

کلیدواژه ها:

میکروکانتیلور پیزوالکتریک ، آنالیز حساسیت ، ارتعاش خطی ، روش سوبل