بررسی پایداری گرانشی رویه میز ایزولاسیون ارتعاشات

میزهای ایزولاسیون ارتعاشات بطور گسترده به منظور حذف ارتعاشات درادوات با تکنولوژی نانو و ازمایشهای نوری بکارمیرود میز ایزولاسیون ازدو جزاصلی پایه های نیوماتیک و رویه تشکیل شده ویکی ازنکات مهم درطراحی و عملکرد میزپایداری گرانشی رویه است دراین مقاله محدوده پایداری گرانشی رویه با درنظرگرفتن رویه بصورت شناورروی پایه های نیوماتیک محاسبه شده و پارامترهای موثربرپایداری شامل فاصله پایه های نیوماتیک فاصله مرکز جرم ازمحورتقارن و سختی پایه های نیوماتیک استخراج می شود همچنین برخلاف گذشته که مرزناحیه پایداری بصور ت هرمی درنظر گرفته می شد با استفاده ازرابطه پایداری مشخص شد که این مرز سهموی است.

کلیدواژه ها:

پایداری گرانشی ، میزایزولاسیون ارتعاشات رویه ـ پایه نیوماتیک