روشی نوین در میکرو - نانو ماشین کاری فتوشیمیایی بدون استفاده از شابلون

برای ساختن ترانزیستورها و مدارهای مجتمع (IC) و قطعاتی در ابعاد میکرو و نانو از تکنولوژی ماشین کاری شیمیایی دقیق استفاده می شود. در روش ماشین کاری شیمیایی از شابلون و در روش فتوشیمایی از فیلم نگاتیو برای تصویر کردن تصویر طرح برروی سطح قطعه استفاده می شود.

کلیدواژه ها:

میکرو ، نانوماشینکاری ، فتوشیمایی ، اپتیک

نویسندگان

علیرضا فدایی تهرانی

استادیار دانشکده مکانیک دانشگاه صنعتی اصفهان

نیما نوری

دانشجوی کارشناسی ارشد دانشکده مکانیک

محمدرضا یاریان

دانشجوی کارشناسی ارشد دانشکده مکانیک

محمدجواد زرکوب

استادیار دانشکده مکانیک

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :

D.S Hwang , T.Saito , N Fujimori " New Etching ...
K.C.C _ TSE , D.Nikezic , K.N.Pu "Comprative Studies Of ...
Mark K.Long "Compute Aided Layout Synthesis For Aniotropic Etch Pho ...
Chemical Etching ه 4. H.R.Robbins And B.Schwartz Of Silicon I, ...
H.R.Robbins and B.schwartz _ Chemical Etching Of Silicon II, The ...
H.R.Robbins and B.schwartz _ Chemical Etching Of Silicon II, The ...
D.M Allen "The Principle And Practice Of Photochemicl Machinig And ...
Advance Machining Processes by Hassan Abdel, Gawad EI-Hoy. Alexandria University ...
Chemical Milling , by: W.T.Harris. Oxford university press _ 1976 ...

نمایش کامل مراجع

صدور گواهی نمایه سازی
من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

https://civilica.com/doc/90823

شناسه ملی سند علمی:

ISME17_662

تاریخ نمایه سازی: 20 فروردین 1389

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:

فدایی تهرانی، علیرضا و نوری، نیما و یاریان، محمدرضا و زرکوب، محمدجواد،1388،روشی نوین در میکرو - نانو ماشین کاری فتوشیمیایی بدون استفاده از شابلون،هفدهمین کنفرانس سالانه مهندسی مکانیک،تهران،https://civilica.com/doc/90823

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (1388، فدایی تهرانی، علیرضا؛ نیما نوری و محمدرضا یاریان و محمدجواد زرکوب)
برای بار دوم به بعد: (1388، فدایی تهرانی؛ نوری و یاریان و زرکوب)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

علم سنجی و رتبه بندی مقاله

مشخصات مرکز تولید کننده این مقاله به صورت زیر است:

رتبه علمی دانشگاه صنعتی اصفهان

نوع مرکز: دانشگاه دولتی

تعداد مقالات: 16,279

در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.

مقالات پیشنهادی مرتبط

مقالات فوق بر اساس داده کاوی مقالات مطالعه شده توسط پژوهشگران محاسبه شده است.

مقالات مرتبط جدید