کاربرد میکرو سنسور خازنی در ابزار اندازه گیری ابعادی و بررسی تاثیر پارامترهای طراحی میکرو - سنسور خازنی روی عملکرد آن

دراین مقاله طرح جدیدی برای اندازه گیری قطر داخلی استوانه با استفاده از میکرو سنسور اندازه گیری جابجایی از نوع خازنی ارائه شده است این سنسور با روش میکروماشینکاری قابل تولید میباشد.

کلیدواژه ها:

میکرو - سنسور خازنی ، سنجه اندازه گیری ابعادی ، سیستم های میکروالکترومکانیکال

نویسندگان

هادی جلیلی

کارشناس ارشد پژوهشکده توسعه تکنولوژی گروه پژوهشی مکانیک

حمیدرضا دهدشتیان

دانشجوی کارشناسی ارشد

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :

- David S. Nyce, "Linear Position Sensor, Theory and Application", ...
- Mark N. Horenstein, Julie A. Perreault, and Thomas G. ...
- Nicolae Lobontiu, Ephrahim Garcia, "Mechanics of M icro _ ...
- Ching Liang, _ capacitive humidity sensor integrated with micro ...
- Jiro Kuroki, Tadahiko Shinshi, Lichuan Li and Akira Shimokohbe, ...
- Oliver Berberig, Kay Nottmeyer, Jim Mizuno, Yoshitaka Kanai and ...
of Sensors and Actuators A, Physical, Volume 80, Issue 1, ...
- Qiang Wang and Wen H. Ko, "Si-to-Si fusion bonded ...
D. Goustouridis, D. Tsoukalas, P. Normand, A. G. Kontos, Y. ...
Suwas K. Nikumb, "Metallic micro displacement capacitive sensor fabricated by ...
, Number 8 / July, 2006, Springer Berlin / Heidelberg. ...

نمایش کامل مراجع

صدور گواهی نمایه سازی
من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

https://civilica.com/doc/90939

شناسه ملی سند علمی:

ISME17_778

تاریخ نمایه سازی: 20 فروردین 1389

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:

جلیلی، هادی و دهدشتیان، حمیدرضا،1388،کاربرد میکرو سنسور خازنی در ابزار اندازه گیری ابعادی و بررسی تاثیر پارامترهای طراحی میکرو - سنسور خازنی روی عملکرد آن،هفدهمین کنفرانس سالانه مهندسی مکانیک،تهران،https://civilica.com/doc/90939

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (1388، جلیلی، هادی؛ حمیدرضا دهدشتیان)
برای بار دوم به بعد: (1388، جلیلی؛ دهدشتیان)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مقالات پیشنهادی مرتبط

مقالات فوق بر اساس داده کاوی مقالات مطالعه شده توسط پژوهشگران محاسبه شده است.

مقالات مرتبط جدید