طراحی، ساخت و بهینه سازی پارامترهای سنسور فشار مبتنی بر لایه نازکPZT
محل انتشار: هجدهمین کنفرانس سالانه مهندسی مکانیک
سال انتشار: 1389
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,380
فایل این مقاله در 8 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ISME18_421
تاریخ نمایه سازی: 1 تیر 1389
چکیده مقاله:
در این مقاله مراحل طراحی، شبیه سازی، ساخت و تست سنسور فشار مبتنی بر لایه نازک PZT نشان داده شده است در ابتدا دیافراگمی بصورت چندلایه متشکل از لایه های Pt/Ti/PZT/PT/Ti/SiO2 توسط نرم افزار اجزای محدود ANSYS FE طراحی و شبیه سازی شده است. سپس مشخصات دینامیکی دیافراگم چند لایه مورد بررسی قرار گرفته و برای عملکرد مطلوب ترسنسور، بهینه شده است
کلیدواژه ها:
نویسندگان
وحید محمدی
هیات علمی گروه برق دانشگاه آزاد اسلامی واحد قشم
سعیده محمدی
بخش مکانیک دانشکده مهندسی دانشگاه فردوسی مشهد
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :