سرعت خوردگی میکروسکوپیک اتم ها در فرآیند ساخت میکرو حسگر ها

سال انتشار: 1390
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 945

متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

ISME19_578

تاریخ نمایه سازی: 2 اردیبهشت 1390

چکیده مقاله:

امروزه از سرعت های خوردگی میکروسکوپیک اتم ها برای شبیه سازی نرم افزاری فرآیند خوردگی استفاده میگردد که این نرم افزار ها در ساخت سامانه های میکرو الکترو مکانیکی مورد استفاده قرار میگیرند. این مقاله نتایج جدیدی را برای سرعت های خوردگی میکروسکوپیک اتم های اصلی در کریستال سیلیکون، جهت شبیه سازی نرم افزاری فرآیند خوردگی ارایه داده است. با استفاده از ایننتایج یک نمونه تجربی از یک حسگر نیرو مورد مطالعه قرار گرفته است. با مقایسه نتایج مشخص میگردد که نتایج ارایه شده در این مقاله با نتایج تجربی تطابق قابل قبولی دارند.

نویسندگان

امیررضا مراتی

دانشگاه صنعتی مالک اشتر

محمدامین رضوان خواه

دانشگاه صنعتی مالک اشتر

محسن شایان

دانشگاه صنعتی امیرکبیر

بهروز ارزو

دانشگاه صنعتی امیرکبیر

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • D. Xuefeng, M. S. Thesis, McGi1 University, 2005. ...
  • G.T Kovacs, The Mi cromachined Transducers Sourcebook, WCB McGraw_Hi _ ...
  • _ ec tromechanica Systems: F undamental of Micro- and Nano- ...
  • modeling of Atomistic:ه M. A. Gosalvez, anisotropic etching of crystalline ...
  • M i croel ectromechl , vol. 17, no. 2, Apr. ...
  • M. Shayan, B. Arezoo, A.R. Merati, ASMEE 201 10th Biennial ...
  • O. Francais, Introduction to MEMS, - Tutorials MEMS- October 8th ...
  • نمایش کامل مراجع