بررسی اثر ایندیوم Indium-doped در فیلمهای نازک SnO2 ساخته شده به روش سل ژل
محل انتشار: هفتمین سمینار ملی مهندسی سطح و عملیات حرارتی
سال انتشار: 1385
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,077
فایل این مقاله در 8 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ISSE07_075
تاریخ نمایه سازی: 29 خرداد 1387
چکیده مقاله:
لایه های نازک نیمه هادی شفاف sno2 به روش های مختلف از جمله اسپری پایرولیزز تبخیر حرارتی، CVD ، اسپاترینگ تهیه می شود. در این مقاله مشخصه های فیلم نازک تهیه شده sno2 به روش sol-gel به وسیله تفرق پرتو x ، مورد ارزیابی قرار گرفت . همچنین، میزان اثر هال و مقدار جذب و عبور در ناحیه مرئی مورد بررسی قرار داده شد . اندازه گیری اثر هال نشان داد که نوع هدایت لایه بستگی زیادی به فرآیند گرمادهی (0/25>In/Sn) دارد. در مورد درصد وزنی In/Sn کوچک تر از 0/25 و عملیات گرمادهی بالای 430 درجه سانتیگراد لایه نوع P است، در حالیکه در مورد فرآیند گرمادهی کوچک تر از 430 درجه سانتیگراد فیلم نوع n است . مشخص شد، نقطه اپتیمم دمایی برایsno2 نوع p ، حدود 520 درجه سانتیگراد است و در این دما بیشترین تمرکز حفره را وجود دارد. اندازهگیریها نشان داد که فیلم با درصد وزنی 0/35 > In/Sn دارای هدایت نوع n است. در مورد درصد وزنی حدود 0/3 تشخیص نوع n و p قدری دشوار و مشکل است و در حقیقت به عنوان یک نقطه بحرانی برای گذار از نوع p به نوع n است . آزمایش های XRD نیز نشان داد که همه فیلم ها با تمرکز 0/4>In/Sn دارای ساختار هگزاگونال است. برای درصد وزنی 0/25 >In/Sn و عملیات گرمادهی بالای 430درجه سانتیگراد لایه نوع p لازم است. در حالی که با همین درصد ناخالصی در فرآیند گرمادهی کوچکتر از 430 درجه سانتیگراد لایه نوع n لازم است.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
محمود رضایی رکن آبادی
گروه فیزیک، دانشگاه فردوسی مشهد
حنانه کیوان
گروه فیزیک، دانشگاه فردوسی مشهد
مریم داوری
گروه فیزیک، دانشگاه فردوسی مشهد
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :