تهیه لایه های نازک دی اکسید تیتانیوم به روش کندوپاش مگنترونی واکنشی و بررسی خواص مکانیکی این لایه ها
محل انتشار: دهمین سمینار ملی مهندسی سطح و عملیات حرارتی
سال انتشار: 1388
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,304
فایل این مقاله در 10 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ISSE10_028
تاریخ نمایه سازی: 1 فروردین 1388
چکیده مقاله:
در این کار تجربی لایه های نازک دی اکسید تیتانیوم با استفاده از کندوپاش مگنترونی واکنشی DC بر روی زیرلایه های شیشه ای و سیلیکونی تحت شرایط مختلف نشانده شد. فیلم های تهیه شده، در دماهای مختلف تحت عملیات حرارتی قرار گرفتند. تغییرات آهنگ لایه نشانی فیلم ها با فشار جزئی اکسیژن همچنین خصوصیات مکانیکی پس از فرایند بازپخت در دماهای مختلف، شارهای ورودی مختلف گاز اکسیژن و توان های مختلف منبع تغذیه بررسی شد. نتایج حاصله نشان می دهد که آهنگ لایه نشانی با افزایش فشار گاز اکسیژن تا یک مقدار معین افزایش یافته و سپس بخاطر اکسایش سطح هدف کاهش می یابد. میکروسختی فیلم ها با افزایش نرخ شارژ اکسیژن ابتدا تا یک مقدار معین افزایش یافته و سپس کمی کاهش پیدا کرده و به یک مقدار پایا نزدیک می شود. افزایش بیشتر شارژ اکسیژن موجب می شود میکروسختی بطور جزئی افزایش یابد. همچنین میکروسختی لایه ها با افزایش دمای بازپخت و همچنین توان منبع افزایش می یابد.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
حسن بیدادی
دانشکده فیزیک، دانشگاه تبریز
فرامرز هادیان
دانشکده فیزیک، دانشگاه تبریز
اکرم مهدیزاده خسرقی
دانشکده فیزیک، دانشگاه تبریز
گلناز روح بخش
دانشکده فیزیک، دانشگاه تبریز
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :