تهیه لایه های نازک نیترید مس (Cu2N) به روش کندوپاش مگنترونی واکنشی DC و بررسی خصوصیات آنها با تغییر دمای زیرلایه
محل انتشار: دهمین سمینار ملی مهندسی سطح و عملیات حرارتی
سال انتشار: 1388
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,318
فایل این مقاله در 8 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ISSE10_049
تاریخ نمایه سازی: 1 فروردین 1388
چکیده مقاله:
دراین کار تجربی لایه های نازک نیترید به روش کندوپاش مگنترونی واکنشی DC بر روی زیرلایه های شیشه ای تحت دمای متفاوت زیرلایه در محدوده 2100-90C و آهنگ شارش ثابت نیتروژن sccm12/5 نوشته شده اند. طیف های پراش پرتو ایکس XRD نشان می دهد که فیلم ها دارای طبیعت چند بلوری هستند و سمت گیری کریستالی فیلم ها با افزایش دمای زیرلایه از (111) به (100) تغییر پیدا می کنند. مقاومت ویژه الکتریکی با افزایش دمای زیرلایه، کاهش می یابد. وابستگی دمای زیرلایه به نرخ نهشت فیلم ها نشان داده شد و علت تغییرات مشاهده شده مورد بحث قرار گرفت.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
حسن بیدادی
دانشکده فیزیک دانشگاه تبریز
فرامرز هادیان
دانشکده فیزیک، دانشگاه تبریز
بیان کریمی
دانشکده فیزیک، دانشگاه تبریز
ایران صیدی
دانشکده فیزیک، دانشگاه تبریز