ایجاد پوشش دوتایی نیتروژن دهی پلاسمایی - TiN به روش PACVD
محل انتشار: دهمین سمینار ملی مهندسی سطح و عملیات حرارتی
سال انتشار: 1388
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 3,757
فایل این مقاله در 9 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ISSE10_112
تاریخ نمایه سازی: 1 فروردین 1388
چکیده مقاله:
پوشش های سخت پایه نیتریدی به طور گسترده ای برای بالا بردن مقاومت به سایش فولادهای ابزار کاربرد دارند. در سال های اخیر، روش رسوب نشانی شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما (PACVD) یک تکنیک مناسبی برای رسوب نشانی پوشش های سخت بر روی فولادهای ابزار با شکل هندسی پیچیده ایجاد نموده است. به کمک این روش بر روی فولاد H11 که تحت فرآیند نیتروژن دهی پلاسمایی با نسبت (فرمول در متن اصلی مقاله) برابر با 0/25 قرار گرفته بود، پوشش TiN در دمای 520 درجه سانتیگراد لایه نشانی شد. بدین منظور مخلوط از گازهای Ar ( با نرخ 0/05 نرمال لیتر بر دقیقه) ، H2 ( با نرخ 1/6 نرمال لیتر بر دقیقه)، N2 ( با نرخ 0/25 نرمال لیتر بر دقیقه) و TiCl4 ( با نرخ 0/1 نرمال لیتر بر دقیقه به کمک حامل H2) استفاده شد. ساختار کریستالی ، ریزساختار و خواص مکانیکی پوشش به کمک پراش اشعه X، میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) ، میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) و ریزسختی سنج مورد بررسی قرار گرفتند. نتایج نشان دادند که پوشش TiN ایجاد شده سختی سطح در حدود 1750 ویکرز ایجاد کرده و زبری سطح محاسبه شده 72 نانومتر می باشد.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
مهدی رئوفی
دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه علم و صنعت ایران
شمس الدین میردامادی
دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه علم و صنعت ایران
فرزاد محبوبی
دانشکده مهندسی معدن و متالورژی دانشگاه صنعتی امیرکبیر
شاهرخ آهنگرانی
سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :