بررسی اثر دمای بازپخت بر نانوساختار و خواص الکتریکی وتزئینی لایه های نازک اکسید زیرکونیوم تهیه شده به روش کندوپاش

لایه های نازک زیرکونیوم با استفاده از تکنیک کندوپاش مغناطیسی DC بر روی زیر لایه شیشه انباشته شدند.سپس لایه ها در دماهای مختلف C 500-100 در شار ثابت اکسیژن بازپخت شدند. نتایج پراش پرتو X- XRD نشان داد که فازهای مختلف اکسید زیرکونیوم در دماهای بازپخت متفاوت C 500-100 بدست می آید. این نتایج نشان داد که افزایش دمای بازپخت باعث افزایش اندازه بلورک ها(دانه) نانوکشش در ساختار لایه ها می شود. تصاویر میکروسکپ نیروی اتمی AFM برای تمام لایه ها ساختار دانه ای شکل را نشان داد، درحالیکه اندازه دانه ها و زمختی سطح با افزایش دمای بازپخت افزایش یافتند.بررسی EDAX نیز نشان داد که نسبت o/zr در دماهای C 500 ،400،300،200،100 به ترتیب 2.4 و 2.3 ،1.9،1.7 ،1.6 بود. لایه های بود. لایه های بالا c 500 و 400 شفاف و در دماهای پائین c 300 - 100 خاکستری و قهوه ای بودند. خواص الکتریکی بدست آمده با دستگاه دو پروب نشان داد که تغییرات مقاومت الکتریکی با ولتاژ اعمال شده تقریبأ ثابت است و مقاومت الکتریکی با افزایش دمای بازپخت افزایش می یابد.

کلیدواژه ها:

لایه های نازک ، اکسیدزیرکونیوم ، ساختار بلوری ، مورفولوژی سطح ، مقاومت الکتریکی ، خواص تزئینی