Analytical Analysis of Capacitive Pressure Sensor with Clamped Diaphragm
محل انتشار: ماهنامه بین المللی مهندسی، دوره: 26، شماره: 3
سال انتشار: 1391
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: انگلیسی
مشاهده: 783
فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_IJE-26-3_012
تاریخ نمایه سازی: 17 خرداد 1393
چکیده مقاله:
In this paper, analytical analysis of capacitive pressure sensor with clamped diaphragm is presented. Mechanical and electrical properties of the sensor are theoretically analyzed based on theory of thinplates with small deflection and the results are evaluated using finite element analysis. The centraldeflection and capacitance values under uniform external pressure are calculated. Comparison of theoretical results shows good agreement with finite element analysis. The results indicate that the mathematical model has a high accuracy to determine the sensor behaviors
کلیدواژه ها:
نویسندگان
m shahiri Tabarestani
Department of Electrical Engineering, Islamic Azad University, Central Tehran Branch, Tehran, Iran
b Azizollah Ganji
Electrical Engineering Department, Babol University of Technology, Babol, Iran