طراحی وشبیه سازی فشارسنج و شتاب سنج مبتنی بر MOEMS با استفاده از دیافراگم LiNbO3

به منظور کاهش هزینه های عملیاتی فضاپیما و بهبود عملکرد سیستم های مربوطه، حسگرهای کوچک و کم هزینه با حساسیت بالا از اهمیت بسزایی برخوردار است، هم اکنون افزایش اطمینان پرسیدی و بهبود عملکرد حسگرهای میکرو الکترومکانیکی مورد توجه روزافزون محققان در بسیاری از مراکز صنعتی و علمی جهان می باشد، حسگرهای MEMS معایبی از جمله حساسیت زیاد به تداخلات الکترومغناطیسی دارند. مصونیت حسگرهای نوری نسبت به تداخلات الکترومغناطیسی و دقت بالای آنها باعث کاربرد جالب توجه سیستم های میکرو الکترومکانیکی نوری MOEMS در صنعت هوافضا و کشتیرانی گردیده است، در این مقاله فشارسنج و شتاب سنج نوری جدید مبتنی بر MOEMS با استفاده از دیافراگم لیتیوم نیوبات از نوع تداخل سنج ماخ زندر طراحی شده است. در این حسگر با اعمال فشار یا شتاب دیافراگم دچار کرنش شده که منجر به تغییرات ضریب شکست موجبر واقع در دیافراگم بخاطر اثر فوتوالاستیسیته تغییر ضریب شکست،باعث تاخیر فاز نور منتشر شده در موجبر می گردد که توسط تداخل سنج ماخ زندر،تغییرات فاز به تغییرات شدت نور تبدیل می شود. با استفاده از نتایج شبیه سازی توسط نرم افزار ANSYS 14.5 حساسیت فشار سنج (rad/Pa) ( فرمول در متن اصلی) حساسیت شتاب سنج (rad/g) ( فرمول در متن اصلی) بدست می اید.

کلیدواژه ها:

تداخل سنج ماخ زندر ، سیستم های میکروالکترومکانیکی نوری ، فشار سنج ، فوتوالاستیسیته ، لیتیوم نیوبات