مطالعه خواص ساختاری دوپ نیتروژن در تیتانیوم به روش رسوب بخار شیمیایی با فیلامان داغ (HFCVD)
محل انتشار: کنفرانس علوم و فناوری نانو
سال انتشار: 1393
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 773
فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NANOG01_019
تاریخ نمایه سازی: 12 دی 1393
چکیده مقاله:
در این تحقیق لایه های نازک تیتانیوم اکسی نیترید به روش رسوب بخار شیمیایی با فیلامان داغ (HFCVD) روی زیر لایه سیلیکون (400) p لایه گذاری شدند.نمونه ها در شرایط دمایی مختلف (T=400°c,T=500°c,T=700°c,T=800°c) قرار داده شدند. از آنالیز Four Point Probe، XRD و SDE برای تعیین ساختار بلوری، خواص الکتریکی و میزان دوپ عنصر نیتروژن واکسیژن استفاده شد.آنالیز XRD نشان دهنده فاز مکعبی با جهت ترجیحی (200) و (220) ومونو کلینیک با جهت (112-) با افزایش دمای زیر لایه می باشد. با افزایش دما مقاومت الکتریکی لایه های تیتانیوم اکسی نیترید با استفاده از آنالیز Four Point Probe از Ω/□ 25/32 به Ω/□ 0/0126 و بر طبق آنالیز SDE میزان دوپ عنصر نیتروژن از 5/8% به 3/42% و اکسیژن از 64/06 به 59/3 کاهش یافت.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
منا احکان
کارشناسی ارشد،فیزیک،دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران مرکز
محمود قرآن نویس
استاد،فیزیک،مرکز تحقیقات فیزیک پلاسما دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :