طراحي و ساخت دستگاه DCPECVD جهت رشد هم جهت و عمودي نانولوله هاي كربني و بررسي اثر غلظت گازاستيلن و جريان پلاسما روي رشد  Fulltext 

[ فاطمه احمدزاده ] - مجتمع پژوهشي كرج،پژوهشكده مواد،گروه فيزيك دانشگاه اراك
[ مجيد مجتهدزاده لاريجاني ] - مجتمع پژوهشي كرج،پژوهشكده مواد
[ عبدالعلي ذوالانواري ] - گروه فيزيك دانشگاه اراك
[ پروين بلاش ابادي ] - مجتمع پژوهشي كرج،پژوهشكده مواد

خلاصه مقاله:

در اين تحقيق ابتدا پس از ساخت و راه اندازي دستگاه ) DCPECVD لايه نشاني شيميايي بخار به كمك پلاسماي جريان مستقيم ) و پس از رسيدن به شرايط مطلوب رشد توانستيم نانولوله هايي هم جهت و عمودي را با استفاده از سيستم ساخته شده در دماي 750 درجه سانتيگراد در فشار 10 تور جهت كاربردهاي الكترونيكي رشد دهيم . همچنين با تغيير ميزان غلظت گاز استيلن و جريان پلاسما بطور جداگانه حين پروسه رشد، تاثير اين دو پارامتر را روي كيفيت و ميزان نانولوله هاي توليد شده بررسي نموديم .

نانولوله هاي كربني، روش SEM ، PECVD