ليتوگرافي پروبي روبشي شيميايي مكانيكي (MC-SPL) در ابعاد نانومتري بر روي لايه ماسك فوتورزيست

لينك‌ها

[ گزارش اشكال در مقاله | بازگشت | جستجو | ليست كنفرانس‌ها ]

اطلاعات مقاله

[ اعتبار مورد نياز: 1 | تعداد صفحات: 5 | 150 بار مشاهده چكيده | 0 بار دريافت متن كامل ]

عنوان مقاله:	ليتوگرافي پروبي روبشي شيميايي مكانيكي (MC-SPL) در ابعاد نانومتري بر روي لايه ماسك فوتورزيست
سرفصل مربوط:	نانولوله ، سيم ، لايه نازك	سال انتشار:	1386
نوع ارايه:	شفاهي	محل انتشار:	[ دومين همايش دانشجويي فناوري نانو ]
زبان مقاله:	فارسي	حجم فايل:	174.37 كيلوبايت

نمايش خلاصه مقاله

لطفا اگر نقد و نظری درباره این مقاله دارید آن را درج کنید: [ نوشتن نقد بر اين مقاله ]

ليتوگرافي پروبي روبشي شيميايي مكانيكي (MC-SPL) در ابعاد نانومتري بر روي لايه ماسك فوتورزيست Fulltext

نويسنده‌گان:

[ محمد عبدالاحد ] - دانشكده فيزيك دانشگاه صنعتي شريف
[ اميد اخوان ] - دانشكده فيزيك دانشگاه صنعتي شريف
[ عليرضا مشفق ] - دانشكده فيزيك دانشگاه صنعتي شريف

خلاصه مقاله:

در اين تحقيق ابتدا نانو ليتگرافي برروي لايه ماسك فوتورزيست كه روي بستر LiTaO3 لايه نشاني شده با ايجاد حفره هايي با پارامترهاي مختلف بررسي مينماييم . سپس روش ليتوگرافي پروبي روبشي مكانيكي شيميايي (mechano- chemical scanning probe lithography) بررسي AFM الگوهاي پيچيده تري بوسيله ليتوگرافي نيروي مستقيم Al/SiO2/Si ميشود كه در آن بر روي لايه ماسك لايه نشاني شده بر روي چند لايه ايجاد ميشود . سپس ويفر را بوسيله محلول اسيد فسفريك اچ ميگردد و نانو ساختارهاي آلومنيوم ايجاد ميگردد . اين تشكيل نانو ساختارها گام مهمي به
سمت ياخت قطعات نانومتري است .

كلمات كليدي:

[ لينک دايمي به اين صفحه: http://www.civilica.com/Paper-NANOSC02-NANOSC02_267.html ]

نمايش صفحه قابل چاپ خلاصه مقاله

معرفي مقاله به ديگران

راهنمایی دریافت اصل مقاله

اصل مقالات براي کاربران عضو سايت با 50 درصد تخفيف ارائه مي شوند. عضويت در سيويليکا ساده و سريع است. براي عضويت به بخش عضويت در سيويليکا مراجعه نماييد.

در صورتي که عضو نيستيد و ميخواهيد اصل مقاله را خريداري نماييد از بخش خريد اصل مقاله استفاده نماييد.

قبل از اقدام به دريافت يا خريد مقاله، به تعداد صفحات آن که در بالا درج شده است توجه نماييد.

براي راهنمايي کاملتر راهنماي سايت را مطالعه کنيد.

دريافت اصل مقاله (ویژه اعضا)

شما به صورت کاربر وارد سايت نشده ايد. پس از ورود به سايت با شناسه و رمز عبور خود، لينک دريافت مقاله در اين بخش نمايش داده مي شود.

رمز عبور را فراموش کرده ايد؟

خرید اصل مقاله

در صورتی که عضو نیستید مي توانند با استفاده از پرداخت اينترنتي، بلافاصله اصل اين مقاله را خريداري نمايند. توجه نمایید که مقالات برای اعضا با 50 درصد تخفیف ارائه می شود. برای عضویت به صفحه عضويت در سيويليکا مراجعه نمایید.

برای خرید اصل این مقاله به صورت غیر عضو، لطفا آدرس ایمیل خود را در زیر وارد نمایید.