طراحی یک خازنMEMSجدید با افزایش تغییرات بازه ظرفیت خازن بدون محدودیت پولین
سال انتشار: 1393
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 529
فایل این مقاله در 9 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCECN01_071
تاریخ نمایه سازی: 7 بهمن 1393
چکیده مقاله:
در این مقاله یک خازن میکروالکترومکانیکی(MEMS) شانه دار با بازه تغییرات ظرفیت خازنی بدون محدودیت پولین ارایه شده است.جهت رفع مشکل پولین از روش صفحه ی پله دار و جهت افزایش بازه تغییرات خازن از صفحات خازنی شانه دار استفاده شده است.ظرفیت خازن برای ساختار های خازنی با صفحات صاف ، صفحه ی پله دار و صفحات شانه ای شبیه سازی و آنالیز شده است. همچنین پولین در صفحات خازنی صاف و ظرفیت خازن کل با احتساب ظرفیت خازن حاشیه ای برای صفحات شانه ای توسط شبیه ساز محاسبه و بازه ی تغییرات ظرفیت کل خازن در ساختار شانه ای نسبت به ساختار با صفحه ی پله ای78.9% افزایش یافته و محدودیت پولین در جابجایی برطرف شده است.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
نسیم امانی
دانشجوی دانشگاه آزاد اسلامی واحد بوشهر،گروه برق و الکترونیک
بهرام عزیز اله گنجی
استادیار- دانشگاه فنی نوشیروانی بابل
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :