طراحی یک خازنMEMSجدید با افزایش تغییرات بازه ظرفیت خازن بدون محدودیت پولین

سال انتشار: 1393
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 529

فایل این مقاله در 9 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

NCECN01_071

تاریخ نمایه سازی: 7 بهمن 1393

چکیده مقاله:

در این مقاله یک خازن میکروالکترومکانیکی(MEMS) شانه دار با بازه تغییرات ظرفیت خازنی بدون محدودیت پولین ارایه شده است.جهت رفع مشکل پولین از روش صفحه ی پله دار و جهت افزایش بازه تغییرات خازن از صفحات خازنی شانه دار استفاده شده است.ظرفیت خازن برای ساختار های خازنی با صفحات صاف ، صفحه ی پله دار و صفحات شانه ای شبیه سازی و آنالیز شده است. همچنین پولین در صفحات خازنی صاف و ظرفیت خازن کل با احتساب ظرفیت خازن حاشیه ای برای صفحات شانه ای توسط شبیه ساز محاسبه و بازه ی تغییرات ظرفیت کل خازن در ساختار شانه ای نسبت به ساختار با صفحه ی پله ای78.9% افزایش یافته و محدودیت پولین در جابجایی برطرف شده است.

کلیدواژه ها:

نویسندگان

نسیم امانی

دانشجوی دانشگاه آزاد اسلامی واحد بوشهر،گروه برق و الکترونیک

بهرام عزیز اله گنجی

استادیار- دانشگاه فنی نوشیروانی بابل

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • Brad R. Jackson and Carlos E. Saavedra، Variable MEMS Capacitors ...
  • Chao-Min Chang, Shao-Yu Wang, Rongshun Chen, J. Andrew Yeh and ...
  • Dong-Ming Fang, Xiu-Han Li, Quan Yuan and Hai-Xia Zhang، Effect ...
  • Duck-Bong Seo, Robin Shands، DESIGN ANT SIMULATION OF A MEM ...
  • Hugo Lopez Montenegro, Leonardo Arnone, Miguel Rabini، FATIGUE FAILJRE ANALYSIS ...
  • Jun Zou, Chang Liu, Jose Schutt-Aine, Jinghong Chen, and Sung-Mo ...
  • Rob Legtenberg, A W Groeneveld and M Elwenspoek، Comb-drive actuators ...
  • نمایش کامل مراجع