ساخت Cantilever میکروسکوپ نیروی اتمی Fabrication of AFM cantilever's

سال انتشار: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 599

فایل این مقاله در 9 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

NCMII01_493

تاریخ نمایه سازی: 22 اردیبهشت 1393

چکیده مقاله:

در این مقاله ، تکنولوژی ساخت Cantileverمیکروسکوپ نیروی اتمی به روش Self-Sharpening nano Silicon وپیزوالکتریک پایه ALN مورد بررسی قرار گرفته است . tip های نانو سیلیکون ، بوسیله تکنولوژی اچ تر ناهمسانگرد و مکانیزم خود تیز شو(Self Sharpening) با استفاده از ماسکهای مخصوص 3 و 5 وجهی تولید می گردند[1]

کلیدواژه ها:

نویسندگان

r hadi

Islamic Azad University Najafabad

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • دکتر م .کلاهدوزان، جزوه درسی مباحث منتخب _ 1392، به ...
  • Jia-dong Li _ Jie Xie and Wei Xue " Fabrication ...
  • J Brugger, R A Buser and N F de Roolj ...
  • H.J. Quenzer, U. Drechsler, A. Sebastian, S. Marauska, B. Wagner ...
  • "Fabrication of conducting AFM cantilevers with AlN-based piezoelectric actuators" Procedia ...
  • نمایش کامل مراجع