بررسی و تحلیل عملکرد میکروفون خازنی با استفاده از تکنولوژی MEMS

در این مقاله به یک ساختار میکروفون خازنی اشاره شده که در طراحی آن از تکنولوژی - mems استفاده شده است.میکروفون های با ساختار خازنی در حالت کلی از دو صفحه تشکیل می گردند، که به صفحه بالایی تشکیل دهنده آن، دیافراگم(Diaphragm) گفته می شود که در معرض برخورد امواج صوتی قرار دارد و صفحه دیگر که در قسمت پایینی قرار دارد و ثابت می باشد. این دو صفحه بوسیله یک فاصله هوایی (air gap) از هم جدا می گردند. ابعاد میکروفون ارائه شده ) mm2 5.0 5.0 ( می باشد و ضخامت

کلیدواژه ها:

میکروفون MEMS ، دیافراگم ، ولتاژ Pull-in ، فاصله هوایی (air gap